東莞市啟天自動化設備股份有限公司
認證資料 Certification Data
東莞市啟天自動化設備股份有限公司
- 聯系人：晁曉鵬
- 官網地址：www.cnqtkj.com
- 經營模式：制造商
- 主營產品：石墨舟上下料機,等離子清洗機60L,八道刻蝕下料機,五道刻蝕下料機,硅片數片機
- 所在地：廣東省廣東省東莞市樟木頭鎮樟洋工業區富竹二街8號
- 供應產品：67
產品詳情
Product details
等離子清洗工藝流程圖
產品技術規格介紹
QT-60-PSP中型等離子清洗機規格
主要技術參數：
1) 整機外形尺寸（約）: 900W×1700H×1000D（mm） 外觀噴塑處理；
2) 反應倉尺寸： W450mm×H300mm×D450mm；
3) 電源：主系統電源: 380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五線
4) 等離子體頻率：13.56MHz；
5) 射頻電源功率：（0～600）W連續可調；
6) 設備功率：≤3kW
7) 控制方式：采用包括觸摸屏人機界面的PLC控制，操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理，可同時存儲100組不同的配方。使用時只需要將相應配方號調出即可。設備參數分級管理，設備操作員、工藝人員、維護人員使用不同口令管理不同參數，提高設備安全性。手動模式用于實驗工藝以及設備維護維修。
8) MFC質量流量計控制（標準配置2路）
9) 氣體流量：(0～200)ml/min （標準氣壓,0℃）
10) 工作氣體(氧、氬等)接口壓力：≤0.45MPa
11) 壓縮空氣（啟動氣動角閥）接口壓力：0.45Mpa
12) 凈化冷卻氣體（氮氣）接口壓力：0.45MPa
13) 設備工作節
聯系方式
Contact Us- 聯系人姓名：晁曉鵬
- 聯系人職位：銷售經理
- 聯系人手機：
- 企業電話：86-
- 詳細地址：廣東省廣東省東莞市樟木頭鎮樟洋工業區富竹二街8號